納米激光光刻系統(tǒng)‍是專門(mén)為科研團(tuán)隊(duì)和加工平臺(tái)設(shè)計(jì)的小范圍多功能光刻系統(tǒng)，根據(jù)壓電平臺(tái)的移動(dòng)范圍，分為P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型號(hào)，具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、維護(hù)簡(jiǎn)單、加工分辨率高、支持多種受體材料等特征，能廣泛適用于各種微納結(jié)構(gòu)及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產(chǎn)。該系列產(chǎn)品還可根據(jù)用戶特殊需求，提供定制設(shè)計(jì)和制造。

新概念技術(shù)：華維納LDW-P系列納米激光光刻系統(tǒng)通過(guò)激光與材料的非線性相互作用，成功突破了光學(xué)衍射極限的限制，實(shí)現(xiàn)了納米尺度的加工分辨力，最小的孔洞直徑可達(dá)50nm。

多受體材料：華維納LDW-P系列通過(guò)高精度的功率調(diào)制（＜1‰），可兼容包括金屬薄膜、無(wú)機(jī)相變材料、光刻膠等多種受體材料。

可靠易用性：華維納HWN-P擁有強(qiáng)大的軟件功能，支持標(biāo)量刻寫(xiě)、矢量刻寫(xiě)等多種刻寫(xiě)模式，供用戶根據(jù)不同的刻寫(xiě)場(chǎng)景而選擇。另外，LDW-P系列還支持樣品刻寫(xiě)后的在線分析，使用戶一站式完成設(shè)計(jì)、刻寫(xiě)、分析等步驟， 大大提高了工作效率。